碘化炉简介

设备主要技术参数: 

l         设备总功率                     140KW;

l         沉积室温区                    Φ300mm*Η600mm

l         沉积室加热温度                 1600

l         沉积室加热功率                 100KW

l         反应室均温区                   Φ200mm*Η900mm

l         反应室加热温度                 500℃;

l         反应室加热功率                 15KW

l         碘储存室                       Φ200mm*Η500mm

l         碘储存室加热温度                 120℃;

l         碘储存室加热功率                 5.5KW

l         碘收集冷凝需配置独立制冷机功率   0.75KW

l         两端端盖油冷循环温度             250 ℃;

l         炉室空炉极限真空度                0.06Pa

 

 

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